Middle French

Dictionnaire du moyen français, 1300-1500 (ATILF, CNRS, Université de Lorraine, 2012)

Frédéric Godefroy, Dictionnaire de l’ancienne langue françoise et de tous ses dialectes du IX^e au XV^e siècle, Paris, 1895-1900, 10 volumes

• Supplement (3 volumes)
• Lexicon
• Gallica (image mode only)

Middle and modern French

Dictionnaires d'autrefois (The ARTFL project, University of Chicago) includes:

• Jean Nicot, Thresor de la langue françoyse, tant ancienne que moderne, Paris, 1606
• Jean-François Féraud, Dictionaire critique de la langue française, Paris, 1787-1788
• First edition of the Dictionnaire de l’Académie, Paris, 1694
• Émile Littré, Dictionnaire de la langue française, Paris, 1872-1877

Other resources for the history of the French language

Abel Boyer, Le dictionnaire royal: première partie, qui contient le françois devant l’anglois, London, 1729

Randle Cotgrave, A Dictionarie of the French and English Tongues, London, 1611

Antoine Furetière, Dictionnaire universel contenant generalement tous les mots françois, tant vieux que modernes, et les termes de toutes les sciences et des arts, Paris, 1690

Jean-Baptiste de La Curne de Sainte-Palaye, Dictionnaire historique de l’ancien langage françois ou glossaire de la langue françoise depuis son origine jusqu’au siècle de Louis XIV, ed. Léopold Favre & Léon Pajot, Paris, 1875-1882, 10 volumes

TLFi -- Trésor de la langue française informatisé (ATILF, CNRS, Université de Lorraine)

DicFro (English, French, Old French, Latin)

Lexilogos (image mode only):

• Resources for French language and grammar, by time period (Old French, sixteenth century, seventeenth century) and by French dialects
• Other manuals about the history of the French language, and grammar books